洁净室气密性检测方法
G.1 原 理
G.1.1 保持室内为正压或负压均能满足检验要求，但条件允许
时，负压洁净室宜用正压检验，正压洁净室宜用负压检验。
G.1.2 可按以下方法进行检测：
1 压力衰减法
使室内达到某一压力(正压或负压),关闭加压或抽负压系 统，观察压力随时间衰减的情况，记录下压力衰减到起始压力的
一半时所用的时间，即为测量室内正压或负压的半衰期。
2 恒压法
使室内达到某一正压，同时向室内补气，使室压达到要求的 稳定值而不下降时的补气量即为漏泄量。使室内达到某一负压，
使室压维持要求的稳定值而不下降时的抽气量即为漏泄量。
G.2 压力衰减法
G.2.1 测试系统如图G.2.1 所示。
G.2.2 可按以下步骤进行检测
1 将所测洁净室的温度控制在设计范围内并保持稳定，记 录压力衰减测试过程中室内温度的变化(温度计或温度传感器的
最小示值不宜大于0.1℃)。
2 关闭所测洁净室围护结构上的门、传递窗等，关闭回风 管(或排风管)上的气密阀门，不得在风口上加其他密封措施，
并维持各种孔洞缝隙的密封现状。
3 开启送风，使室内压力上升至已商定的测试压力(压力 计量程至少为测试压力的1.5倍，最小示值不宜大于10Pa), 压
力稳定后，停止送风，关闭送风阀门。
136
图 G.2.1 压力衰减法系统
1-洁净室；2—送风机；3—调节阀；4—密闭阀；5--微压计；6一排风机
4 或反之关闭送风管上的阀门，如果送风管上无阀或阀不 严，应在送风口上用塑料膜加盲板的方法封住风口，开启排风， 使室内压力下降至已商定的测试压力，压力稳定后，停止排风，
关闭排风气密阀门。
5 从停止送(排)风起，记录压力随时间衰减的数据，每 1min 记录1次压差和温度，连续记录至室内压力下降至初始压
力的一半时止。
6 测试结束后慢慢打开风阀，使房间压力恢复到正常状态。
7 如果需要进行重复测试，20min 后进行。
8 当不用风机时也可用空气压缩机或真空泵。
G.2.3 检测报告应包括以下内容，
1 检测条件，包括室内温度等。
2 检测方法包括检测所用仪器设备规格型号及精度；所测
洁净室压力、温度的动态变化；检测持续的时间。
3 检测结果包括所测洁净室压力下降至初始压力的1/ 2时的时间内压力衰减率；所测洁净室围护结构严密性的
评价。